鑄鐵平臺顯微鏡比較法 將被測表面與表面粗糙度比較樣塊靠近在一起，用比較顯微鏡觀察兩者被放大的表面，以樣塊工作面上的粗糙度為標準，觀察比較被測表面是否達到相應(yīng)樣塊的表面粗糙度;從而判定被測表面粗糙度是否符合規(guī)定。此方法不能測出粗糙度參數(shù)值。

　　光切顯微鏡測量法 光切顯微鏡(雙管顯微鏡)是利用光切原理測量表面粗糙度的方法。從目鏡觀察表面粗糙度輪廓圖像，用測微裝置測量Rz值和Ry值。也可通過測量描繪出輪廓圖像，再計算Ra值，因其方法較繁而不常用。必要時可將粗糙度輪廓圖像拍照下來評定。光切顯微鏡適用于計量室。

　　鑄鐵平臺干涉顯微鏡測量法 干涉顯微鏡是利用光波干涉原理，以光波波長為基準來測量表面粗糙度的。被測表面有一定的粗糙度就呈現(xiàn)出凸凹不平的峰谷狀干涉條紋，通過目鏡觀察、利用測微裝置測量這些干涉條紋的數(shù)目和峰谷的彎曲程度，即可計算出表面粗糙度的Ra值。必要時還可將干涉條紋的峰谷拍照下來評定。干涉法適用于精密加工的表面粗糙度測量。適合在計量室使用。

　　樣塊比較法 以表面粗糙度比較樣塊工作面上的粗糙度為標準，用視覺法或觸覺法與被測表面進行比較，以判定被測表面是否符合規(guī)定;用樣塊進行比較檢驗時，樣塊和被測表面的材質(zhì)、加工方法應(yīng)盡可能一致; 樣塊比較法簡單易行，適合在生產(chǎn)現(xiàn)場使用.

　　電動輪廓儀比較法 電動輪廓儀系觸針式儀器。測量時儀器觸針尖端在被測表面上垂直于加工紋理方向的截面上，鑄鐵平臺做水平移動測量，從指示儀表直接得出一個測量行程Ra值。這是Ra值測量最常用的方法?；蛘哂脙x器的記錄裝置，描繪粗糙度輪廓曲線的放大圖，再計算Ra或Rz值。此類儀器適用在計量室。但便攜式電動輪廓儀可在生產(chǎn)現(xiàn)場使用。