德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵是氣體捕集泵，它的工作原理包括低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕獲。

    德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的抽速從800到60000升/秒(對(duì)氮?dú)?，共分七個(gè)規(guī)格，可用于產(chǎn)生高真空和超高真空，10-13～10-11mbar。

    德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的主要特點(diǎn)有：

    ·與相同口徑的其他泵比較，德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵具有最大的抽速。對(duì)水蒸氣抽速極大。

    ·無碳?xì)浠衔锏奈廴荆梢杂脕懋a(chǎn)生潔凈的高真和超高真空。

    ·只有在低溫泵啟動(dòng)和再生時(shí)才需要前級(jí)泵。

    ·德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的MULTIPLE運(yùn)行方式可以允許兩臺(tái)或兩臺(tái)以上的低溫泵同時(shí)工作，而共用一臺(tái)壓縮機(jī)。

    ·德國萊寶真空泵COOLVAC系列所有低溫泵全部裝有安全閥，如發(fā)生如斷電等意外，當(dāng)泵內(nèi)壓力超過大氣壓150mbar時(shí)，安全閥自動(dòng)打開。

    德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵采用的是電加熱、全程自動(dòng)控制的再生方式。它的主要優(yōu)點(diǎn)有：

    1、電加熱的再生方式無需氮?dú)?，其運(yùn)行成本比吹氮?dú)獾脑偕绞降?0%；

    2、在德國萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的再生過程中，溫度自第二級(jí)冷頭向第一級(jí)冷頭逐漸升高，氣體依次排出，避免了吹氮?dú)庠偕袣怏w同時(shí)放出后產(chǎn)生腐蝕性或危險(xiǎn)性氣體的可能(如H2和O2，H2O和CO2)；

    3、自動(dòng)控制器在再生全過程中對(duì)泵內(nèi)壓力及溫度分布進(jìn)行自動(dòng)控制；

    4、再生迅速，耗時(shí)小于40分鐘；

    5、再生徹底，經(jīng)50次快速再生后才需要一次完全再生。而其他的低溫泵每次進(jìn)行5次快速再生后就要進(jìn)行一次完全再生。