納米粉末具有大的比表面積,高的比表面能及催化活性,表現(xiàn)出常規(guī)粒子所不具備的光學(xué)、磁學(xué)、力學(xué)、電學(xué)和化學(xué)活性等特性,因而在國防、化工、輕工、航天、冶金等多個(gè)領(lǐng)域得到重要應(yīng)用。等離子體技術(shù)作為一種超高溫技術(shù)，為納米粉末的制備提供了一條重要的途徑。用等離子體技術(shù)制備納米粉末，是在等離子體蒸發(fā)法得到的高溫蒸汽中，引入反應(yīng)性氣體，進(jìn)行化學(xué)氣相合成超細(xì)粉末。等離子體不僅作為一個(gè)高溫?zé)嵩矗瑫r(shí)還作為反應(yīng)源。反應(yīng)性氣體通常有兩種方式引人等離子體反應(yīng)器中，一是將反應(yīng)性氣體作為等離子體工作氣體;二是直接將反應(yīng)性氣體噴入到反應(yīng)器中。反應(yīng)性氣體和高溫蒸汽反應(yīng)后經(jīng)過淬冷，得到化合物超細(xì)粉末。在現(xiàn)有等離子技術(shù)中，射頻等離子體是利用射頻電磁場的感應(yīng)作用對(duì)各種氣體進(jìn)行感應(yīng)加熱產(chǎn)生等離子體，其特點(diǎn)為無極放電，無電極損耗，污染小、等離子炬壽命長、反應(yīng)氣氛可控、弧區(qū)大、功率范圍0.5kW～1MW，是制備組分均勻、球形度高、缺陷少、流動(dòng)性好的納米粉末的良好手段。已有的工作證明，由于射頻等離子體可通入不同狀態(tài)的前驅(qū)體粉末，通過調(diào)控工藝參數(shù)，如反應(yīng)溫度、加料速率和反應(yīng)氣體的種類和濃度，可制備出多種組分的金屬或陶瓷納米粉末。

比如，采用射頻等離子體技術(shù)，可以用SiCl4和NH3為原料合成納米氮化硅(Si3N4)，Si3N4的產(chǎn)率最高時(shí)氨氣與Si3N4的最佳摩爾比為6∶1。該方法屬于氣-氣反應(yīng)合成，反應(yīng)速率快，制備的粉末粒度微細(xì)。又如，以乙醇溶解的Fe(NO3)3·9H2O和Zn(NO3)2·6H2O的溶液為前驅(qū)體，采用載氣攜帶霧化的前驅(qū)體液滴送入射頻等離子體中可合成納米級(jí)尖晶石結(jié)構(gòu)的ZnFe2O4，同時(shí)，還有部分的鐵磁性的ZnFe2O4生成。該方法充分利用等離子體的高溫環(huán)境，使反應(yīng)原料的霧化液滴發(fā)生了氣相等離子合成反應(yīng)。還有，采用射頻等離子體可以合成納米TiCN粉末，所獲得的粉體平均粒徑可小于30nm，其中前驅(qū)體粉末在高于其沸點(diǎn)的等離子體區(qū)域的停留時(shí)間和等離子體的化學(xué)成分，決定了最終制備粉末的相組成。

另外，采用機(jī)械混合的La2O3和B粉為原料，經(jīng)過射頻等離子體處理，可合成制備出LaB6，平均粒徑為10～50nm，說明射頻等離子體不僅可以應(yīng)用于氣-氣合成反應(yīng)也可以應(yīng)用于和固-固合成反應(yīng)。

另據(jù)報(bào)道，以Ni(OH)2和NiCO3為原料，通過射頻等離子體輔助氫還原處理，可以得到球形納米Ni粉。所獲得的納米Ni粉分散性良好，粒度在60～100nm，振實(shí)密度為3.7g/cm3。該方法利用等離子體的高溫使Ni(OH)2和NiCO3原料粉末發(fā)生分解反應(yīng)，制備出納米級(jí)微細(xì)金屬粉末?？梢钥闯觯蒙漕l等離子的高溫特性，可為分解反應(yīng)提供熱源和提供反應(yīng)氣體的氣氛環(huán)境，使射頻等離子體廣泛應(yīng)用于不同狀態(tài)的前驅(qū)體原料進(jìn)行合成反應(yīng)。(一員)