近日，由沈陽拓荊科技有限公司承擔的國家重大科技專項項目“90-65納米等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備的研發(fā)與產業(yè)化”在沈研制成功，并將在我國最大的芯片代工企業(yè)——中芯國際進行在線測試。目前，該設備已完成出廠前的工藝測試和可靠性測試，各項性能指標均達到設計要求。這是我國自主開發(fā)研制的首臺12英寸PECVD設備，標志著我國在IC裝備國產化方面取得了重大突破。
　　12英寸PECVD設備樣機的順利出廠，標志著我國在集成電路高端設備（PECVD）研究和制造領域技術達到了國際先進水平，使我國IC薄膜設備制造水平與國際IC制造業(yè)主流技術水平保持同步，完善了國內半導體重要裝備的產業(yè)鏈，打破了國外產品的技術和市場壟斷，使我國有能力在IC高端設備市場上參與國際競爭，對提升我國IC制造裝備的自主創(chuàng)新能力和核心競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。
　　12英寸PECVD技術一直被歐美及日本等國家所壟斷，技術難度大，單臺價值高達300萬美元，設備進口受到發(fā)達國家的嚴格限制。擁有完全自主知識產權的12英寸PECVD設備樣機的成功研發(fā)，確立了沈陽在全國集成電路裝備研發(fā)與制造領域同北京、上海三足鼎立的地位，使沈陽有機會創(chuàng)造一個具有國際水準的IC設備制造公司。這對調整遼沈地區(qū)的傳統(tǒng)產業(yè)結構、創(chuàng)造新的經濟增長點、推動遼沈地區(qū)IC裝備制造產業(yè)化發(fā)展具有重大的現(xiàn)實意義。