原則上，用于電鍍銅的溶液均可用于電鑄銅，但常用的是硫酸鹽溶液。它具有成分簡單、易操作控制、成本低的優(yōu)點。氟硼酸鹽溶液具有成分簡單、對雜質(zhì)不敏感、易操作控制、可使用高電流密度的優(yōu)點，但成本高、溶液腐蝕性強而較少應(yīng)用。其典型的工藝規(guī)范及所得銅層的性能見下表。

   也可以采用焦磷酸鹽電鍍銅的溶液進行電鑄銅。這種溶液比前兩種溶液分散能力好，可得到結(jié)晶比較細微的銅層。