真空熱處理技術即真空技術與熱處理技術兩個專業(yè)相結合的綜合技術，是熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空四個類型。目前大多數(shù)真空熱處理中頻爐的工作真空度1.33~1.33×10-3Pa。

　　真空熱處理幾乎可實現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結、表面處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實現(xiàn)快速升溫和降溫，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。一般來說，被處理的工件在真空感應電爐內(nèi)加熱緩慢，內(nèi)熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。產(chǎn)品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工作環(huán)境好，操作安全，沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩(wěn)定性和重復性好。這一系列的優(yōu)點，開發(fā)真空熱處理設備和工藝被越來越重視和應用越來越廣。