當(dāng)機(jī)械零件的邊緣幾何尺寸至關(guān)重要時(shí)，就必須對(duì)它們進(jìn)行精確的、可復(fù)現(xiàn)的測(cè)量。例如，在燃料噴射系統(tǒng)中，提供密封性的邊緣幾何尺寸必須加工得極其精密，以提高噴射燃料的準(zhǔn)時(shí)性，并使泄漏的可能性降至最小。

為了實(shí)現(xiàn)某些應(yīng)用功能，有時(shí)需要對(duì)工件邊緣進(jìn)行小至5μM的倒棱加工。為了在生產(chǎn)檢測(cè)中，通過(guò)測(cè)針的一次性觸測(cè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)邊緣幾何尺寸精確的、可復(fù)現(xiàn)的測(cè)量，HOMMELETAMIC公司推出了一種納米掃描粗糙度及輪廓形狀測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)能對(duì)工件邊緣進(jìn)行微米級(jí)檢測(cè)，同時(shí)還能確定構(gòu)成邊緣的兩個(gè)表面的粗糙度。該系統(tǒng)還能評(píng)估輪廓特征（如半徑和角度），且能達(dá)到20NM的重復(fù)測(cè)量精度。

除了檢測(cè)邊緣以外，該系統(tǒng)還能確定由邊緣毛刺造成的凸起，這些毛刺是在加工過(guò)程中產(chǎn)生的，它們會(huì)削弱邊緣功能。該測(cè)量系統(tǒng)配備的高分辨力（0.6NM）激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)對(duì)這些微小毛刺的納米掃描檢測(cè)。有時(shí)，盡管這些毛刺的高度只有1－2μM，但當(dāng)配合間隙僅為1μM時(shí)，一個(gè)微小毛刺就可能造成配合不良的問(wèn)題。

在接觸測(cè)量時(shí)，金剛石測(cè)針可將工件表面測(cè)量值傳輸?shù)郊す飧缮鎯x中，接觸式測(cè)頭可與激光干涉儀相互配合進(jìn)行檢測(cè)。為了避免采用數(shù)學(xué)方式濾除由驅(qū)動(dòng)測(cè)量運(yùn)動(dòng)的電機(jī)產(chǎn)生的機(jī)械噪聲，納米掃描測(cè)量系統(tǒng)配備了一個(gè)可進(jìn)行機(jī)械濾波的驅(qū)動(dòng)裝置，該裝置可消除電氣噪聲和任何機(jī)械噪聲。