1）參數(shù)測(cè)量?jī)x表：滲氮爐應(yīng)設(shè)置電壓、電流、溫度、真空度和氣體流量等參數(shù)的測(cè)量指示儀表。溫度應(yīng)能自動(dòng)控制和記錄。

2）陰極對(duì)地的絕緣電阻：在非真空狀態(tài)下用1KV兆歐表測(cè)量應(yīng)不低于4MΩ，水冷陰極應(yīng)在不通水的條件下進(jìn)行測(cè)量。

3）供給離子滲氮爐的整流輸出電壓：電壓應(yīng)連續(xù)可調(diào)，在200V以上無(wú)突跳現(xiàn)象。

4）極限真空度：應(yīng)不低于6.7Pa。

5）抽真空時(shí)間：在空爐冷態(tài)下由常壓抽到極限真空度所需的時(shí)間應(yīng)不大于30min。

6）壓升率：應(yīng)不大于1.3×10－1-1Pa/min。

7）工作真空度：在合理的供氣流量下，真空泵應(yīng)保證所要求的工作真空度在66.7～1066Pa范圍內(nèi)的動(dòng)態(tài)平衡。

8）滅弧裝置：滲氮爐應(yīng)有可選的滅弧裝置。