1）參數測量儀表：滲氮爐應設置電壓、電流、溫度、真空度和氣體流量等參數的測量指示儀表。溫度應能自動控制和記錄。

2）陰極對地的絕緣電阻：在非真空狀態(tài)下用1KV兆歐表測量應不低于4MΩ，水冷陰極應在不通水的條件下進行測量。

3）供給離子滲氮爐的整流輸出電壓：電壓應連續(xù)可調，在200V以上無突跳現(xiàn)象。

4）極限真空度：應不低于6.7Pa。

5）抽真空時間：在空爐冷態(tài)下由常壓抽到極限真空度所需的時間應不大于30min。

6）壓升率：應不大于1.3×10－1-1Pa/min。

7）工作真空度：在合理的供氣流量下，真空泵應保證所要求的工作真空度在66.7～1066Pa范圍內的動態(tài)平衡。

8）滅弧裝置：滲氮爐應有可選的滅弧裝置。