在復(fù)型技術(shù)基礎(chǔ)上的微型或小型零件的大規(guī)模生產(chǎn)越來越多，如熱壓成型，微注射成型，塊體成型。這些技術(shù)主要依靠高溫并在加工工具上加載，尤其是對整體的微小產(chǎn)品更實用。本文對應(yīng)用微電火花加工技術(shù)在微/小型模具制造領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀提出了一些觀點。

關(guān)鍵詞：微制造；微電火花加工；模具制造

微電火花加工（µ-EDM）是應(yīng)用電火花加工技術(shù)制造微型和小型零件和結(jié)構(gòu)件。也就是采用加工技術(shù)和機床滿足微型產(chǎn)品生產(chǎn)的需求[1-3]，其次是工具電極的小型化，對比傳統(tǒng)的電火花加工，單放電能量可減小到小于We =100μJ?，F(xiàn)代機床一般使用靜態(tài)脈沖發(fā)電機，它能產(chǎn)生低于1A的放電電流、近似正交的脈沖和0.2秒的放電時間，因此產(chǎn)生一個最小放電能量大約在We =5μJ。

進一步減少放電量是受電器元件和整流率限制的。因此，使用有10Pf電容的張弛振蕩器，在放電電流100mA時，能夠產(chǎn)生只有40 ns脈沖持續(xù)時間的脈沖。在最小放電量We =0.1μJ時，單次放電造成非常小的材料損失，弧坑半徑小于2.5μm，，形成一個極小的帶寬，帶寬范圍從SL=1.5到5μm。為了得到適宜的材料去除率，保證加工的經(jīng)濟性，必須使用能夠產(chǎn)生非常高的脈沖頻率的火花發(fā)生器。因此最新的微放電加工發(fā)生器能產(chǎn)生fp達到10MHz[4]的脈沖頻率。微型電器加工的另一個重要的特點是電極的反向極性。由于傳統(tǒng)的長脈寬電火花加工極性的作用，通常是工具電極陽極充電去增大材料去除率，以減少電極磨損。微電火花加工時脈寬短，必然因為有熱量和構(gòu)件的機械穩(wěn)定性的限制，這一效應(yīng)正好相反，因此在微放電加工中，工具電極通常陰極充電。

根據(jù)被加工件的幾何形狀，微放電加工采用不同加工變量。下面介紹這些加工方法的可能性和局限性。

1 微絲電子放電加工

微絲電子放電加工（電火花線切割機）的特點是應(yīng)用直徑較小的電極導(dǎo)線。為了加工最小的切割寬度或者內(nèi)角，導(dǎo)線的直徑dW= 0.1mm到dW=0.02mm。這種方法是最常用的直接生產(chǎn)微型機械裝置和微型沖壓工具的方法。為了保證足夠的熱和機械穩(wěn)定性，通常導(dǎo)線電極使用鎢或拉伸強度在2000n/mm以上的鍍層鋼。另外，導(dǎo)線電極熱和機械穩(wěn)定性限制了可加工構(gòu)件的高度，也就是當使用直徑dW=0.03導(dǎo)線電極時允許的最大工件的高度大約在5mm。

由于金屬絲電極只能在一定范圍內(nèi)進行機械預(yù)拉伸，那么金屬絲的振動就很容易導(dǎo)致加工精度或表面質(zhì)量不夠，因此，應(yīng)減少裂口的公軸沖洗甚至應(yīng)完全避免，將高精度加工系統(tǒng)和超水平電火花發(fā)生器相結(jié)合，在加工精度±0.001mm和大于100比率之間完成最小裂縫寬度0.04mm，構(gòu)件寬度15um時能夠利用金屬絲電導(dǎo)加工方法反復(fù)加工，表面粗糙度小于Ra = 0.1um的僅可能采用精整技術(shù)，因為它只有一個相對較高的釋放能量的切口和一些減少釋放能量的連續(xù)整齊的切口。

2 顯微壓滲

用顯微電極進行顯微壓滲主要用于制備進行微注射鑄模或熱雕刻，此法可復(fù)制大量微小機械部件，所獲得的構(gòu)件的尺寸不僅受腐蝕方法的限制而且受到電極的設(shè)計和制造的限制。時下，不同的顯微加工技術(shù)像EDM顯微模具，電極制造，甚至LIGA技術(shù)被用來生產(chǎn)成型電極，與傳統(tǒng)的電火花壓滲相比，尤其使用松弛發(fā)生器時，相對磨損能達到30%以上，因此，盡管在耐火材料像鎢銅或者硬質(zhì)合金基礎(chǔ)上的高耐磨復(fù)合物都難于加工，但很適合進行顯微電火花壓滲?？傊?，由于尺寸小，電極沖洗不太可能，傳統(tǒng)的沖洗辦法不能應(yīng)用在顯微沖壓模型EDM中。加之極小的裂口寬度，惡劣的沖洗條件對進給控制要求特別高。