中國鑄造網(wǎng)訊(李棋/文)近日，由牛津儀器等離子技術(shù)公司主辦的“牛津儀器納米級(jí)等離子工藝研討會(huì)”在京舉行，吸引了來自業(yè)內(nèi)企業(yè)及科研院所的160余名用戶參與。

　　會(huì)議就微納米技術(shù)在科研領(lǐng)域的新發(fā)展、未來的加工趨勢(shì)、微納米結(jié)構(gòu)及器件應(yīng)用等內(nèi)容進(jìn)行了探討和交流。牛津儀器商務(wù)發(fā)展總監(jiān)Frazer Anderson先生介紹了牛津儀器及等離子體技術(shù)公司的基本情況。隨后，中科院半導(dǎo)體所半導(dǎo)體集成技術(shù)研究中心主任楊富華教授、牛津儀器MEMS首席工藝科學(xué)家Mark McNie先生、臺(tái)灣工研院微系統(tǒng)技術(shù)中心經(jīng)理Dr.Lin Ching-Yuan、牛津儀器首席技術(shù)官Dr.Mike Cooke、牛津儀器III-V族刻蝕應(yīng)用首席工藝科學(xué)家鄧力剛博士、牛津儀器HBLED產(chǎn)品經(jīng)理Dr.Mark Dineen、牛津儀器Ion Beam產(chǎn)品經(jīng)理梁杰榮博士、中科院半導(dǎo)體所王曉東教授等資深專家和學(xué)者分別做了精彩報(bào)告。

　　成立于1982年的牛津儀器等離子體技術(shù)公司隸屬納米分析部，擁有超過30年的工藝經(jīng)驗(yàn)，超過6000件的工藝庫，能刻蝕、沉積或使用超過50%的元素周期表中的自然界元素。應(yīng)用領(lǐng)域包括高亮度發(fā)光二極管、微機(jī)電系統(tǒng)MEMS、第三代光伏發(fā)電及下一代半導(dǎo)體技術(shù)等。擁有遍布全球的銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，并在英、德、中、美、日等國設(shè)立了分公司與辦事機(jī)構(gòu)。