模具鋼材滲氮工藝，亦稱氮化。是使氮原子在一定條件下滲入鋼的表面并擴(kuò)散進(jìn)入內(nèi)部固溶并與Fe或合金形成各種化合物使表層硬化的化學(xué)熱處理工藝。模具零件滲氮是廣義的，包括滲入第二元素（如碳、氧、硫等）。

 廣義滲氮工藝有多種主要有氣體滲氮（也包括氣體氮碳共滲，也稱軟氮化）、離子滲氮（等離子體轟擊氮化或輝光放電滲氮，Conybear）、液體滲氮、固體（粉末）滲氮、真空滲氮、氧氮化、硫氮氧共滲等。固體滲氮因工藝粗放、勞動(dòng)條件差、質(zhì)量難以控制、效果欠佳等原因基本上已被淘汰不用。

液體滲氮或鹽浴滲氮由于在有毒的氰鹽浴中進(jìn)行，雖然效果不錯(cuò)，可惜是有毒有害作業(yè)（也有稱無(wú)毒的，但其廢棄物仍是有害的），即使可以采取種種措施加以防范，但與現(xiàn)代的無(wú)公害熱處理（綠色熱處理）的發(fā)展趨勢(shì)不符，在我國(guó)受到限制、不推廣或禁用。應(yīng)用最多且效果好的是氣體滲氮，包括氣體氮碳共滲和離子滲氮。