(1)工具的振幅和頻率

　　超聲波拋光的效率隨著工具振動的頻率和振幅的增大而提高，在分級拋光時可以在維持工具頭壓力的情況下，逐步提高工具頭振動的頻率和振幅。但是，隨著頻率和振幅的提高，使變幅桿和工具承受過大的交變應(yīng)力，會導致變幅桿和工具的壽命降低。另外，隨著頻率和振幅的增大，使變幅桿和工具、換能器之間連接處的能量損耗增大。因此，一般振幅控制在0.01—0.1mm，頻率控制在16 000～25 000t{z之間。此外，在加工時頻率應(yīng)調(diào)至共振頻率，以取得最大振幅。

　　(2)工具對工件的靜壓力

　　拋光時工具對工件的進給力也稱靜壓力。隨著工具頭末端與工件拋光表面之間間隙的增大，磨料和工作液對拋光表面的壓力降低，削弱了磨料對工件的撞擊力和打擊深度。當兩者的間隙過小時，磨料和工作液不能順利循環(huán)更新，降低了生產(chǎn)效率。因此，工具與工件之間應(yīng)有一個合理的間隙和壓力。

　　(3)磨料的種類和粒度

　　磨料的種類應(yīng)該根據(jù)被加工材料選擇。加工硬質(zhì)合金和淬火鋼等高硬度材料時應(yīng)該選擇碳化硼磨料;加工硬度不太高的硬脆材料時，可以選擇碳化硅磨料。磨料粒度的選擇和振幅有關(guān)，當振幅為0.05mm時，磨料粒度愈大加工效率愈高;當振幅小于0.05mm時，磨料粒度愈小加工效率愈高。

　　(4)料液比

　　磨料工作液中磨料與工作液之問的體積比或質(zhì)量比，稱為料液比。料液比過大和過小都將使拋光效率降低，通常拋光用的料液比為0.5—1左右。

　　影響拋光表面質(zhì)量的因素

　　超聲波拋光的表面粗糙度和磨料的粒度、被加工材料性質(zhì)、工具振幅等有關(guān)。磨料顆粒尺寸越小，工件材料硬度越高，超聲振幅越小，則加工表面粗糙度改觀得越大。另外，采用機油和煤油工作液比水工作液能獲得更好的表面粗糙度。