沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院在大力開(kāi)發(fā)IC裝備整機(jī)設(shè)備的同時(shí)，還在積極研制IC裝備核心零部件產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)兩年多的技術(shù)攻關(guān)，儀表院光學(xué)公司成功研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品。

　　精密紫外反光鏡是IC光刻系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，還用于紫外曝光機(jī)、紫外固化機(jī)、醫(yī)療設(shè)備和曬版機(jī)等設(shè)備，在光顯示和電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。由于設(shè)計(jì)制造難度大、工藝技術(shù)復(fù)雜，長(zhǎng)期以來(lái)只能依賴進(jìn)口。2013年初，匯博光學(xué)成立專項(xiàng)研究小組，有計(jì)劃開(kāi)展IC光刻系統(tǒng)用紫外反光鏡產(chǎn)品研究開(kāi)發(fā)工作。研發(fā)小組結(jié)合光學(xué)公司多年的反光鏡產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，收集國(guó)際前沿技術(shù)信息，自主創(chuàng)新，積極開(kāi)拓，成功開(kāi)發(fā)出國(guó)際水平的IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品。

　　此產(chǎn)品可耐高溫450℃，利用自主創(chuàng)新工藝實(shí)現(xiàn)非球面成形。反射波段范圍在300nm-440nm，反射率大于95%，達(dá)到反射紫外光濾除其它可見(jiàn)光的目的。關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

　　IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品的成功開(kāi)發(fā)，填補(bǔ)了該項(xiàng)技術(shù)的國(guó)內(nèi)空白，在精密非球面加工和檢測(cè)技術(shù)、非球面耐高溫薄膜的鍍制等方面均獲得技術(shù)突破，將有力推動(dòng)光學(xué)薄膜行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。

　　匯博光學(xué)現(xiàn)已形成口徑55mm-362mm系列精密紫外反光鏡產(chǎn)品，現(xiàn)已與10余家客戶建立合作，近期將推出645mm大口徑產(chǎn)品。

　　精密紫外反光鏡產(chǎn)品將逐漸成為儀表院光學(xué)公司反光鏡產(chǎn)品線主導(dǎo)產(chǎn)品。