“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統(tǒng)”項目日前順利通過現(xiàn)場驗收，將推動微納電子傳感器的研究。
　　4月7至8日，中國科學(xué)院條件保障與財務(wù)局組織專家對中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所承擔(dān)的中科院科研裝備研制項目“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統(tǒng)”進(jìn)行了現(xiàn)場驗收。

　　驗收專家組聽取了項目工作匯報、財務(wù)報告、用戶報告及測試報告，現(xiàn)場查驗了研制裝備的運行情況，審閱了相關(guān)文件檔案及財務(wù)賬目。通過質(zhì)詢討論，專家組一致認(rèn)為該項目較好地完成了研制任務(wù)，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于實施方案規(guī)定指標(biāo)。并在此研制設(shè)備的支撐下取得了優(yōu)異的科研成果，在《先進(jìn)材料》等國際知名期刊發(fā)表了8篇SCI論文，申請了12項專利，相關(guān)專利獲得許可轉(zhuǎn)讓。專家組一致同意“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統(tǒng)”研制項目通過驗收。

　　該項目針對微納電子傳感器件對高靈敏度、高時間/空間分辨率和綜合性的在線檢測需求，創(chuàng)新性地研制了原位實時檢測力學(xué)、化學(xué)、生物和光學(xué)等單一或復(fù)合量的高靈敏度多功能傳感檢測系統(tǒng)樣機。該系統(tǒng)主要是以自主研制的高精度新型微納電子傳感器陣列和MEMS電容式微納傳感探針為核心，以化/生/光/力微納米傳感器表征測試平臺、集成化分布式I/O模塊的電路和相關(guān)自動化控制軟件系統(tǒng)融合組成。該系統(tǒng)的研制成功地通過“化/生/光/力－納米尺度－信息”的學(xué)科交叉融合，在材料與器件的納米尺度效應(yīng)、界面效應(yīng)等特性表征和微納制造等微納傳感器基礎(chǔ)研究方面取得突破，為微納傳感器件的研究提供理論、設(shè)計、表征和制造奠定基礎(chǔ)，并形成了自主知識產(chǎn)權(quán)的檢測技術(shù)，將成為推動微納電子傳感器研究的重要科研裝備。