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InfiniteFocus SL三維表面形貌測量儀由奧地利Alicona公司研發(fā)并生產(chǎn)，操作原理是新型全自動變焦(Focus-Variation)技術(shù)，該技術(shù)是光學(xué)系統(tǒng)的小景深和垂直掃描相結(jié)合。
InfiniteFocus SL是一款經(jīng)濟型、用于實驗室研究和生產(chǎn)控制的光學(xué)三維表面形貌測量儀。InfiniteFocus SL除可以測量形貌及微觀結(jié)構(gòu)的表面外，還可以測量部件的粗糙度。完美的機身框架和智能的光源使InfiniteFocus SL的測量更快速，更容易。
優(yōu) 勢：InfiniteFocus SL測量速度快、穩(wěn)定性強，而且經(jīng)濟實惠。超過33mm的超長工作距離及50X50mm測量范圍使它擁有了極寬的應(yīng)用范圍，測量可以在幾秒鐘內(nèi)完成。
應(yīng) 用：應(yīng)用范圍從刀具工業(yè)的刃口測量到質(zhì)量保證及微觀結(jié)構(gòu)的表面刃口測量。InfiniteFocus SL應(yīng)用于汽車、航天、模具、刀具、機械加工等制造企業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
| 自動變焦三維表面測量儀 InfiniteFocus SL的主要技術(shù)參數(shù)： | |
| 位移范圍（X軸、Y軸、Z軸） | 50mm X 50mm X 155mm |
| 樣品表面結(jié)構(gòu) | 表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決于表面結(jié)構(gòu) |
| 最大樣品高度 | 155mm |
| 最大樣品重量 | 4kg |
| 最佳水平分辨率 | 0.44μm |
| 最佳垂直分辨率/最小測量高度 | 20nm |
| 最大擴展視野范圍 | 2500mm2 |
| 最大單一方向掃描范圍/最大測量形貌長度 | 50mm |
| 測量速度 | 170萬個測量點/秒 |
| 最大測量高度 | 25mm |
| 最小可重復(fù)性 | 0.001um |
| 最小測量粗糙度（Ra） | 80nm |
| 最小測量粗糙度（Sa） | 50nm |
| 最小測量半徑 | 2um |
| 最小測量垂直角度 | 20° |
| 最大測量傾斜角度 | 87° |
| Profile Roughness (Ra=500nm) | U = 40nm, σ = 2nm |
| Area Roughness (Ra=500nm) | U = 30nm, σ = 2nm |