自動(dòng)變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測量和表面形貌測量于一體的光學(xué)測量系統(tǒng)。

自動(dòng)變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的突出特點(diǎn)：

• 一款全方位的3D光學(xué)測量儀
• InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能。
• 萬能和高效
• LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì)，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
• 高分辨，高可重復(fù)性和可溯源
• 即使對于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率
• 高測量速度
• InfiniteFocus的測量速度可以達(dá)到170萬點(diǎn)/秒。
• 模塊化和可擴(kuò)展性
• 新的功能可以很容易通過擴(kuò)展測量模式整合全自動(dòng)
• 測量簡單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等

主要技術(shù)參數(shù)：
位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決于表面結(jié)構(gòu)
最大樣品高度：100mm ～ 345mm
最大樣品重量：30kg
最佳水平分辨率：0.44μm
最佳垂直分辨率：10nm
最大掃描高度：22.5mm
最大擴(kuò)展視野范圍：10000mm2
最大單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個(gè)測量點(diǎn)/秒
量高度：0.01μm~22.5mm
最大測量范圍：10000mm2
最大測量形貌長度：100mm
最小可重復(fù)性：0.001μm
最小測量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小測量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小測量半徑：1μm
最小測量垂直角度：20°
最大測量傾斜角度：87°